論文掲載「Surface Science」

電界誘起酸素/水エッチングに関する研究成果が公開されました。

S. Nagai, E. Oyaizu, T. Iwata, In-situ atom probe analysis of field-assisted etching of tungsten in O2 and H2O, Surf. Sci. 767 (2026) 122928.

https://doi.org/10.1016/j.susc.2025.122928.